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弗罗迈(在线咨询)_光明流量控制器

2021/5/21 23:07:42发布93次查看
     气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围,mfc和mfm可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、cvd、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
一台质量流量计的计量系统包括一台传感器和一台用于信号处理的变送器。rosemount质量流量计依据牛顿第二定律:力=质量×加速度(f=ma),当质量为m的质点以速度v在对p轴作角速度ω旋转的管道内移动时,质点受两个分量的加速度及其力:
1.法向加速度,即向心加速度αr,其量值等于2ωr,朝向p轴;
2.切向角速度αt,即科里奥利加速度,其值等于2ωv,方向与αr垂直。由于复合运动,在质点的αt方向上作用着科里奥利力fc=2ωvm,管道对质点作用着一个反向力-fc=-2ωvm。
当密度为ρ的流体在旋转管道中以恒定速度v流动时,任何一段长度δx的管道将受到一个切向科里奥利力δfc: δfc=2ωvρaδx (1)式中,a—管道的流通截面积。由于存在关系式:mq=ρva所以:δfc =2ωqmδx (2)因此,直接或间接测量在旋转管中流 动流体的科里奥利力就可以测得质量流量。
质量流量控制器的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
       用途与特点编辑:质量流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,cvd,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
       流量计一般分为以下几种类型:容积式流量计; 浮子式流量计;差压式流量计 ;涡街流量计;涡轮流量计;超声流量计;电磁流量计;热式流量计;

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